| 发明名称 | 热处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明的热处理装置具备：用于收容被处理体的反应室、按照包围所述反应室那样设置的隔热体、设置在所述隔热体上的多个孔、分别设置在所述多个孔内部的多个环形间隔部件、和分别插入到所述多个环形间隔部件内的多个加热器元件。 | ||
| 申请公布号 | CN1669124A | 申请公布日期 | 2005.09.14 |
| 申请号 | CN02829607.9 | 申请日期 | 2002.09.20 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 斋藤孝规;长内长荣 |
| 分类号 | H01L21/205;F27D1/00;F27D11/02;H05B3/62;H01L21/22 | 主分类号 | H01L21/205 |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种热处理装置，其特征在于，包括：用于收容被处理体的反应室；按照包围所述反应室的方式设置的隔热体；设置在所述隔热体上的多个孔；分别设置在所述多个孔内部的多个环形间隔部件；和分别插入到所述多个环形间隔部件内的多个加热器元件。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||