| 发明名称 | 固体摄像装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 固体摄像装置，具备：进行光电变换的光电变换部；对由光电变换部产生的信号电荷进行转送的转送部。转送部包含：由多晶硅等构成的转送电极；覆盖于转送电极的底面、上面和两侧面，且由比介电率比氧化硅高的氮化硅膜等材料构成的覆盖绝缘膜。覆盖转送电极的两侧面的氮化硅膜的膜厚，大于0nm，小于60nm。 | ||
| 申请公布号 | CN1667832A | 申请公布日期 | 2005.09.14 |
| 申请号 | CN200510054141.2 | 申请日期 | 2005.03.09 |
| 申请人 | 三洋电机株式会社 | 发明人 | 清水龙;笹田一弘;小田真弘 |
| 分类号 | H01L27/148;H04N5/335 | 主分类号 | H01L27/148 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种固体摄像装置，其特征在于，具备：进行光电变换的光电变换部；以及，对由所述光电变换部产生的信号电荷进行转送的转送部，所述转送部，包含：转送电极；以及，覆盖于所述转送电极的底面、上面和两侧面、且由比介电率比氧化硅高的材料构成的覆盖绝缘膜。 | ||
| 地址 | 日本国大阪府 | ||