弹性表面波元件、弹性表面波装置、双工器及弹性表面波元件的制法

摘要

本发明提供可以抑制特性变坏的弹性表面波元件、弹性表面波装置、双工器以及弹性表面波元件的制造方法。本弹性表面波元件的特征在于，具有压电性基板和在压电性基板上形成的IDT电极，压电性基板的体积阻抗率大于等于3.6×10¹⁰Ω·cm，小于等于1.5×10¹⁴Ω·cm。这样的弹性表面波元件，具有体积阻抗率低的压电性基板，其体积阻抗率被降低到小于等于1.5×10¹⁴Ω·cm。所以，在这种弹性表面波元件上，由于可以抑制在IDT电极之间发生放电，所以可明显地抑制特性恶化的事态发生。另外，由于压电性基板的体积阻抗率大于等于3.6×10¹⁰Ω·cm，所以可避免IDT电极之间发生短路的事态发生。

主权项

1.一种弹性表面波元件，其特征在于，具有压电性基板、在所述压电性基板上形成的IDT电极，所述压电性基板的体积阻抗率大于等于3.6×1010Ω·cm小于等于1.5×1014Ω·cm。