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发明名称 semiconductor manufacturing apparatus for depositing a material on semiconductor substrate
摘要
申请公布号 KR100515052(B1) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 KR20020041952 申请日期 2002.07.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/48;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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