声体波滤波器及消去不要的侧通带方法

摘要

本发明涉及一种由薄膜声体波振荡器所制成的声体波滤波器(40)，以及一种消除不要的侧通带的方法。此BAW滤波器乃包括一衬底(14)，一振荡器区段(11)，以及一声学镜象(12)。更进一步地是，其乃包括位在该振荡器区域(11)中的一解谐构件(31)，其用以提供精准的通带特征，以及包括位在该声学镜象区段(12)中的一额外解谐构件(41)，以抑制不要的侧通带特征。

主权项

1.一种声体波滤波器，包括：-一衬底(14)，承载有：-一第一组压电振荡器装置(16)，其具有一薄膜振荡器结构(17)，包括：-一压层(piezolayer)(19)；-底部电极(20)以及顶部电极(21)；-一第二组压电振荡器装置(18)，其具有一薄膜振荡器结构(17)，与该第一组振荡器装置相似，其中，-基础振荡频率乃会借助在压中等平面(piezo median plane)(Lm)上的一位置处施加至少一差异解谐层(differential detuninglayer)而位移至较低的频率，进而决定该声体波滤波器的带宽Δf，以及-该第二组振荡器装置乃与该第一组振荡器装置并列配置；-声学镜象层(24至30)，位在该衬底(14)以及该压电振荡器装置(16，18)间，包括相间隔的低声学阻抗(low acousticimpedance)(24，26，28，30)以及高声学阻抗(high acousticimpedance)(25，27，29)的堆栈层(24至30)；其中，该薄膜声体波振荡器滤波器乃具有一过模解谐构件(overmode-detuning component)(41)，且在其中，至少一额外的差异层乃会针对在该第一组压电振荡器装置(16)中的至少其中一个振荡器而被施加在该压中等平面(Lm)下方的一位置处。