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发明名称
METHOD FOR FABRICATING FINE PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号
KR20050090615(A)
申请公布日期
2005.09.14
申请号
KR20040015777
申请日期
2004.03.09
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
YOO, TAE JUN
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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