发明名称 |
Mis transistor with self-aligned gate and method for making same |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1573793(A2) |
申请公布日期 |
2005.09.14 |
申请号 |
EP20030809986 |
申请日期 |
2003.12.15 |
申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
DELEONIBUS, SIMON |
分类号 |
H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/51;H01L29/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/265 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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