发明名称 Mis transistor with self-aligned gate and method for making same
摘要
申请公布号 EP1573793(A2) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 EP20030809986 申请日期 2003.12.15
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 DELEONIBUS, SIMON
分类号 H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/423;H01L29/51;H01L29/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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