| 发明名称 |
SYSTEM AND METHOD FOR SUPPRESSION OF WAFER TEMPERATURE DRIFT IN COLD-WALL CVD SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1573784(A2) |
申请公布日期 |
2005.09.14 |
| 申请号 |
EP20030772554 |
申请日期 |
2003.11.26 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
DE BOER, WIEBE |
| 分类号 |
H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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