发明名称 AN APPARATUS AND METHOD FOR CLEANING GLASS SUBSTRATES USING A COOL HYDROGEN FLAME
摘要
申请公布号 EP1453618(A4) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 EP20020789131 申请日期 2002.11.20
申请人 AGENCY FOR SCIENCE, TECHNOLOGY AND RESEARCH 发明人 LIANG, DAVID TEE;CHEN, SAU, NGEN
分类号 B08B3/02;B08B3/08;B08B7/00;C03B29/02;C03C23/00;H01J9/38;H01J17/16;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):B08B7/00;C03B32/00;G02F1/133 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
主权项
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