| 发明名称 | 抽真空系统及其驱动方法、具有此系统的装置和使用此系统转移基板的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种装置，该装置包括：一转移单元，该转移单元处于大气条件之下且其中具有一机械手；和至少一个处理腔室，该处理腔室连接到转移单元的一侧且在该处理腔室与该转移单元之间具有一槽阀，且可交替地处于真空条件和大气条件之下。 | ||
| 申请公布号 | CN1667459A | 申请公布日期 | 2005.09.14 |
| 申请号 | CN200510053512.5 | 申请日期 | 2005.03.08 |
| 申请人 | 周星工程股份有限公司 | 发明人 | 金洪;朴贤洙;郑淳彬;车城昊;金东珍;黄郁重;刘真赫 |
| 分类号 | G02F1/133;H01L21/00;F04D17/10 | 主分类号 | G02F1/133 |
| 代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王允方;刘国伟 |
| 主权项 | 1.一种装置，其包含：一转移单元，其在一大气条件之下且其中具有一机械手；和至少一个处理腔室，该处理腔室连接到该转移单元的一侧且在该处理腔室与该转移单元之间具有一槽阀，且可交替地处于一真空条件及一大气条件之下。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||