发明名称 Positioning device for microscopic motion
摘要 An apparatus including a base configured to slidably engage a driven element, a piezoelectric element interposing the base and the driven element and attached to the base proximate a first piezoelectric element end, and a friction element attached proximate a second piezoelectric element end and configured to selectively engage the driven element. <IMAGE>
申请公布号 EP1574282(A2) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 EP20050250832 申请日期 2005.02.14
申请人 ZYVEX CORPORATION 发明人 BAUER, CHRISTOF;BRAY, KEN
分类号 G12B5/00;B23Q1/34;B81B5/00;G01Q10/00;H01L41/08;(IPC1-7):B23Q1/34 主分类号 G12B5/00
代理机构 代理人
主权项
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