窗口隔离型极小孔半导体激光器和制作方法

摘要

一种窗口隔离型极小孔激光器，其中包括：一衬底；一N面电极，该N面电极制作在衬底的底面；一下限制层，该下限制层制作在衬底的上面；一有源区，该有源区制作在下限制层的上面；在该有源区上形成有限制出光的小孔；一上限制层，该上限制层制作在有源区的上面；脊形波导区，该脊形波导区制作在上限制层的上面；一绝缘介质膜，该绝缘介质膜制作在上限制层和脊形波导区的上面；一窗口隔离区和其上的覆盖层，该窗口隔离区和其上的覆盖层在激光器的两端、脊形波导的上面；一P面电极，该P面电极制作在绝缘介质膜的上面，在窗口隔离区之间。

主权项

1、一种窗口隔离型极小孔激光器，其特征在于，其中包括：一衬底；一N面电极，该N面电极制作在衬底的底面；一下限制层，该下限制层制作在衬底的上面；一有源区，该有源区制作在下限制层的上面；在该有源区端面上镀有光学介质膜和金属膜，金属膜上形成有限制出光的小孔；一上限制层，该上限制层制作在有源区的上面；脊形波导区，该脊形波导区制作在上限制层的上面；一绝缘介质膜作为电流阻挡层，该绝缘介质膜制作在上限制层和脊形波导区的上面；一窗口隔离区和其上的覆盖层，该窗口隔离区和其上的覆盖层在激光器的两端、脊形波导的上面；一P面电极，该P面电极制作在绝缘介质膜的上面，在窗口隔离区之间。