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发明名称 TEXTURED-GRAIN-POWDER METALLURGY TANTALUM SPUTTER TARGET
摘要
申请公布号 EP1427865(A4) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 EP20020773225 申请日期 2002.08.21
申请人 PRAXAIR S.T. TECHNOLOGY, INC. 发明人 KOENIGSMANN, HOLGER, J.;GILMAN, PAUL, S.
分类号 C22C1/04;C22C27/02;C23C14/34;H01L21/285;(IPC1-7):C22C27/02 主分类号 C22C1/04
代理机构 代理人
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