用于集成电路熔丝的单脉冲切断的紫外激光系统和方法

摘要

一种Q开关、二极管抽运的固体激光器(DPSS)(54)穿过非线性晶体(72)，使用谐波振荡来产生用于连接线处理和目标对准的紫外光(74)。非线性晶体(72)的类型和几何结构是经过选择的，而且晶体的温度是被精确控制的，从而产生具有极好光线质量的聚焦点尺寸，用以切断集成电路的熔丝。激光器的输出(56)的一部分能够被用在辅助目标对准系统(50)中。一种成像光学模块(52)可以被用来进一步增强主要光束或者辅助光束两者的或其中之一的形状质量。每个光束通过一个测量入射光和反射光的探测模块(100)。两条光束经过一个共同的合成器以使得光束的校准和对准以及随后的连接线处理变得容易。

主权项

1.一种用于处理集成电路的连接线的激光系统，其包括：激光光源，用于产生波长处于510～575纳米波长范围之内、沿着第一光路传播的绿色激光；非线性晶体，其沿着所述第一光路设置以便于该非线性晶体将一部分所述绿色激光转换成紫外激光；光束调制器，其沿着所述第一光路设置，能够在下述两种衰减状态之间转换：高衰减状态，用以提供适合于对准目标的低激光系统输出功率；以及低衰减状态，用以提供用于连接线处理的高激光系统输出功率；紫外光探测模块，其沿着所述第一光路、并在所述光束调制器的下游设置，该紫外光探测模块适合于探测从所述目标反射的紫外光。