发明名称 ASSESSMENT AND OPTIMIZATION FOR METROLOGY INSTRUMENT
摘要
申请公布号 EP1573268(A1) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 EP20020799290 申请日期 2002.12.20
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ARCHIE, CHARLES, N.;BANKE, JR. WILLIAM, G.
分类号 G01B11/14;G01B11/03;G01D18/00;G01N21/00;G03F7/20;(IPC1-7):G01B11/14 主分类号 G01B11/14
代理机构 代理人
主权项
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