| 发明名称 |
APPARATUS AND PROCESS FOR MEASURING ULTRAVIOLET (UV) LIGHT INTENSITIES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1573286(A1) |
申请公布日期 |
2005.09.14 |
| 申请号 |
EP20030797024 |
申请日期 |
2003.12.16 |
| 申请人 |
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
JANOS, ALAN;ZHANG, BETTY |
| 分类号 |
G01J1/42;G11C16/18;(IPC1-7):G01J3/51;G01J1/04;H01L21/336 |
主分类号 |
G01J1/42 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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