发明名称 LOW THERMAL EXPANSION CERAMIC AND MEMBER FOR EXPOSURE SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1323684(A4) 申请公布日期 2005.09.14
申请号 EP20010967756 申请日期 2001.09.20
申请人 SUMITOMO METAL INDUSTRIES, LTD. 发明人 YOSHITOMI, YASUKI;ARAHORI, TADAHISA
分类号 C03C10/08;C03C10/12;C04B33/14;C04B35/18;C04B35/19;C04B35/195;C04B35/645;(IPC1-7):C04B35/16;H01L21/027;G03F7/20 主分类号 C03C10/08
代理机构 代理人
主权项
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