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发明名称 Method for metal interconnection of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100514523(B1) 申请公布日期 2005.09.13
申请号 KR20030042304 申请日期 2003.06.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/4763;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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