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发明名称 APPARATUS FOR DIAGNOSING DEFECT OF EQUIPMENT USING SIGNAL THEREFROM
摘要
申请公布号 KR100514021(B1) 申请公布日期 2005.09.13
申请号 KR20020016627 申请日期 2002.03.27
申请人 发明人
分类号 G08C25/00;H01L21/00;G05B9/02;G05B23/02;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 G08C25/00
代理机构 代理人
主权项
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