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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE WITH FLOWABLE DIELECTRIC FOR GAPFILLING
摘要
申请公布号 KR100513801(B1) 申请公布日期 2005.09.13
申请号 KR20030051127 申请日期 2003.07.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/31;H01L21/02;H01L21/469;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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