发明名称 PROCEDE DE FABRICATION DE FILM CONDUCTEUR ANISOTROPE SUR UN SUBSTRAT
摘要
申请公布号 FR2857780(B1) 申请公布日期 2005.09.09
申请号 FR20030050352 申请日期 2003.07.18
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 BRUN JEAN;PUGET CHRISTIANE
分类号 G03F7/00;H01L21/60;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/60;H01L23/492 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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