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发明名称
APPARATUS FOR FORMING THIN FILM AND METHOD FOR FORMING THIN FILM USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR100514170(B1)
申请公布日期
2005.09.09
申请号
KR20030051640
申请日期
2003.07.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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