Vorrichtung und Verfahren zur chemischen Gasphasenabscheidung,申请号DE20016012372-传众专利搜索

发明名称	Vorrichtung und Verfahren zur chemischen Gasphasenabscheidung
摘要
申请公布号	DE60112372(D1)	申请公布日期	2005.09.08
申请号	DE20016012372	申请日期	2001.09.21
申请人	JAPAN PIONICS CO. LTD., TOKIO/TOKYO;TOKUSHIMA SANSO CO., LTD.	发明人	SAKAI, SHIRO;TAKAMATSU, YUKICHI;MORI, YUJI;NAOI, HIROYUKI;WANG, HONG XING;ISHIHARA, YOSHIYASU;AMIJIMA, YUTAKA
分类号	C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;C30B25/02;C30B25/14;H01L21/205;H01L33/32;H01S5/323;(IPC1-7):C30B25/14;C30B29/40	主分类号	C23C16/34
代理机构		代理人
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