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Es wird ein Verfahren bereitgestellt zum Korrigieren von regelverletzenden Bereichen einer Fotomaske unter Verwendung einer digitalen Darstellung der Fotomaske. Das Verfahren beinhaltet das Identifizieren von Verletzungsbereichen der Fotomaske anhand einer digitalen Darstellung der Fotomaske. Die Verletzungsbereiche enthalten Bereiche, die eine Mindestbreitenregel verletzen, und/oder Bereiche, die eine Mindestabstandsregel für die Fotomaske verletzen. Die Verletzungsbereiche werden dann so bearbeitet, dass die Verletzungsbereidche eliminiert werden. Sie werden unterschiedlich bearbeitet, je nachdem, ob der Verletzungsbereich innerhalb einer Designform einer Layoutstruktur liegt, die unter Verwendung der Fotomaske abgebildet werden soll, und/oder ob der Verletzungsbereich außerhalb der Designform liegt.
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