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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON SUBSTRATEN
摘要
申请公布号
DE50106975(D1)
申请公布日期
2005.09.08
申请号
DE20015006975
申请日期
2001.03.01
申请人
SCHOTT AG
发明人
DANIELZIK, BURKHARD;KUHR, MARKUS;MOEHL, WOLFGANG
分类号
C23C16/511;H01J37/32;(IPC1-7):C23C16/511
主分类号
C23C16/511
代理机构
代理人
主权项
地址
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