Supports for wafer-like objects,申请号KR19970060329-传众专利搜索

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发明名称	Supports for wafer-like objects
摘要
申请公布号	KR100499833(B1)	申请公布日期	2005.09.08
申请号	KR19970060329	申请日期	1997.11.17
申请人		发明人
分类号	H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68	主分类号	H01L21/68
代理机构		代理人
主权项
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