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发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER CARRIER IN LOADLOCK CHAMBER
摘要
申请公布号
KR20050089653(A)
申请公布日期
2005.09.08
申请号
KR20040015163
申请日期
2004.03.05
申请人
DIGIWAVE TECHNOLOGIES INC.
发明人
PARK, SANG JOON;JUN, YOUNG SU;JOO, BYUNG CHUL
分类号
H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
地址
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