发明名称 加热和冷却薄片形制品的热处理室
摘要 一种处理室和应用这种处理室热处理薄片形制品的方法。该处理室包括双层壁壳、支架式加热器、用于输送冷却气体和排出排放气体的内部通道、可独立改变的气体引入模式和用于密封处理室的活动门。该处理室被设计成可以在原位冷却薄片形制品并提供可以准确优化这种冷却的装置。提供了在一种气氛中处理薄片形制品的方法,在这种气氛中可以控制温度、温度的变化率、气体的组份以及改变这些变量的相对时间,从而可以在薄片形制品上获得要求的材料特性,或者在这种薄片形制品的膜上获得要求的材料特性。
申请公布号 CN1218362C 申请公布日期 2005.09.07
申请号 CN00811500.1 申请日期 2000.07.12
申请人 FSI国际公司 发明人 杰弗里·D·沃马克;武永·P·恩古云;德文德拉·库马;杰克·S·卡萨哈拉;索科尔·埃伯拉尼
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 王彦斌
主权项 1.一种热处理薄片形制品的装置,该装置包括:热处理室,具有形成内室的壁结构以及转移开口,通过该转移开口可将薄片形制品插入内室中或从该热处理室中取出,该转移开口可以关闭,由此也可形成内室,该壁结构包括至少一个绝热部分,该部分包括间隔开的内壁部分和外壁部分;台子,该台子在操作上配置在热处理室的内部,并包括加热装置和第一表面、第二表面以及第一表面、第二表面之间的边缘,所述第一表面包括用于以热转移接触方式支承薄片形制品的支承面;气体入口,位于所述台子上方,用于使气流流入内室中;气体出口,位于所述台子下方,内室中的气体可以经该气体出口排出,该气体出口其位置相对于台子而言与气体入口的位置是上下间隔开的,使得当气体从内室中排出时该气体至少部分地绕台子流动并流过所述台子第一表面、第二表面之间的边缘。
地址 美国明尼苏达