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发明名称 Method for removing ruthenium or ruthenium oxide
摘要
申请公布号 EP1130636(B1) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 EP20010104044 申请日期 2001.02.20
申请人 NEC ELECTRONICS CORPORATION;KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA 发明人 AOKI, HIDEMITSU;WATANABE, KAORI;ISHIKAWA, NORIO;MORI, KIYOTO
分类号 C01G55/00;C23F1/10;C23F1/30;C23G1/02;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/321;H01L21/306;C23F1/44;C23F1/26 主分类号 C01G55/00
代理机构 代理人
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