用于改良电化学电容电压测量准确度及可重复性的监控装置及方法

摘要

一种用于改良电化学电容电压(EVC)造形测量准确度的装置与方法，其方式是警示操作者蚀刻过程中产生表面薄膜或气泡，使用该就地监控装置在测量循环结束时测定实际测量区域，并使用新值重新计算该数据。通过使区域测量与EVC工具形成整体，可针对该实际测量区域修正每个样品的测量，从而可改良准确度并消除一大的错误源。

主权项

1、一种用以改良电化学电容电压(ECV)造形准确度及可重复性的方法，其包含如下步骤：提供一样品、一在所述样品上界定一测量区域的构件、一盛有电解质且所述电解质接触所述样品的电化学槽、及传统方式的ECV造形；在所述电解质填充循环期间监控所述样品以观察所述样品是否存在所形成的气泡；在造形期间监控所述蚀刻井；在所述造形结束时测量所述蚀刻井区域；及将所述测量应用至所述原始造形数据以产生更能可再现性地代表所述ECV造形的已调节数据。