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发明名称
DEVICE OF SUPPLYING HOT NITROGEN USED IN PROCESSING OF SEMICONDUCTOR AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY
摘要
申请公布号
KR20050088649(A)
申请公布日期
2005.09.07
申请号
KR20040014045
申请日期
2004.03.02
申请人
SEMI. LINE, INC.
发明人
MIN, BYUNG RONG
分类号
H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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