| 发明名称 |
Electron beam evaporator for vacuum coating apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1050596(B1) |
申请公布日期 |
2005.09.07 |
| 申请号 |
EP20000107652 |
申请日期 |
2000.04.10 |
| 申请人 |
SATIS VACUUM INDUSTRIES VERTRIEBS - AG |
发明人 |
SIEGRIST, BEAT |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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