激光束产生装置

摘要

深紫外激光束是一种谐波，它产生于非线性光学部件(101)里面，它在非线性光学部件(101)外面被发射，并且跟作为基波的绿色激光束分隔开。在非线性光学部件(101)的外面被发射的绿色激光束被输入耦合镜(102)所反射，并且再次被施加到非线性光学部件(101)，以便形成针对基波的一条闭合的光路。同样，在非线性光学部件(101)外面被发射的深紫外激光束，被输入耦合镜(102)以外的反射镜(28)所反射，以便从深紫外激光束产生部分(20)发出深紫外激光束。

主权项

1.一种激光束产生装置，包括：用于产生基波的波产生装置；非线性光学部件，用于接收由波产生装置产生的基波，并且让基波通过一条满足相位匹配条件的光路，由此产生谐波，所述非线性光学部件具有多个内部全反射平面，同时它被配置成：按照与被施加到非线性光学部件的基波的轴相交的方向，发射在内部全反射平面上被顺序地反射的基波，以及借助于在非线性光学部件中的双折射以及在内部全反射各平面上的内部全反射，发射在内部全反射各平面上被顺序地反射的谐波，上述谐波在空间上偏离于基波；波反射装置，设置在被施加到非线性光学部件的基波的轴与从非线性光学部件发射的基波的轴的交点上，用以反射从非线性光学部件发射的基波，并将该基波再次施加到该非线性光学部件；以及谐波反射装置，用于反射从非线性光学部件发出的、并且在空间上偏离于基波的谐波，由此从激光束产生装置发出谐波。