| 发明名称 |
蚀刻系统及其纯水添加装置 |
| 摘要 |
本发明公开一纯水添加装置，其包括一洁净干气体输入管道和一纯水输入管道，该洁净干气体输入管道和该纯水输入管道的开合分别由位于其上的计时控制器控制，该纯水输入管道一部分经过一加热器加热。本发明还公开一蚀刻系统，其包括一反应腔、一承装箱和一上述纯水添加装置，该反应腔与该承装箱相连，该纯水添加装置的洁净干气体输入管道和纯水输入管道均与反应腔相连。 |
| 申请公布号 |
CN1664994A |
申请公布日期 |
2005.09.07 |
| 申请号 |
CN200410026426.0 |
申请日期 |
2004.03.03 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
欧振宪;黄昌桂;高胜洲;黄荣龙;陈青枫;黄志鸿 |
| 分类号 |
H01L21/306;H01L21/311;H01L21/3213;B67D5/00 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一纯水添加装置，其包括一洁净干气体输入管道和一纯水输入管道，该洁净干气体输入管道和该纯水输入管道的开合分别由位于其上的计时控制器控制，其特征在于：该纯水输入管道一部分经过一加热器加热。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
