极高孔径的投影物镜

摘要

一种极高孔径的、纯折射的投影物镜被构造为具有一个物侧凸部、一个像侧凸部和位于这两个凸部之间的腰身(7)的两凸部系统。在像侧凸部内，系统光阑(5)位于像平面前的一定距离处。在腰身和系统光阑之间，在发射光线的区域内布置一个具有有效曲率的负组(LG5)，该有效曲率具有指向像平面的凹侧。该系统的特征在于数字孔径高、像差小并且结构紧凑、节约材料。

主权项

1.投影物镜，用于利用预定工作波长的紫外线光将布置在所述投影物镜的物平面内的图案投射到所述投影物镜的像平面内，所述投影物镜具有：大量光学元件，其沿着光轴布置，以及以一定的距离布置在所述像平面之前的系统光阑(5)；其中所述投影物镜被构造为具有一个靠近物体的凸部(6)、一个靠近图像的凸部(8)和一个位于所述两个凸部之间的腰身(7)的纯折射的单腰身系统，并且在所述腰身(7)和所述系统光阑(5)之间的发散光线区域内布置一个负组(LG5)，所述负组具有一有效曲率，该有效曲率具有指向图像的凹侧。