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发明名称 METHOD AND DEVICE FOR THE CVD COATING OF WORKPIECES
摘要
申请公布号 EP1570106(A2) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 EP20030767459 申请日期 2003.11.26
申请人 MTU AERO ENGINES GMBH 发明人 SEIDEL, FRANK
分类号 C23C10/08;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/448 主分类号 C23C10/08
代理机构 代理人
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