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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR MONITORING ENVIRONMENT WITHIN A CONTAINER
摘要
申请公布号 EP1467915(A4) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 EP20020805681 申请日期 2002.12.20
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 MOEHNKE, STEPHANIE, J.;PEDERSEN, JAMES, N., L.;OLSON, WAYNE, C.;SHANER, WILLIAM, J.;SHANER, CONNIE, E.;GLYNN, PHILIP, S.
分类号 G08C17/00;G01D21/00;G01N1/02;G01N1/22;G01N33/00;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):B65D1/00 主分类号 G08C17/00
代理机构 代理人
主权项
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