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发明名称 Method for fabricating a semiconductor memory capacitor
摘要
申请公布号 EP0883168(A3) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 EP19980109613 申请日期 1998.05.27
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SHEN, HUA
分类号 H01L27/108;H01L21/334;H01L21/8242;H01L29/94;(IPC1-7):H01L21/334;H01L21/824 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
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