用于微电子应用的显影剂可溶的金属醇盐涂层

摘要

提供抗反射组合物以及使用这些组合物形成电路的方法。所述组合物包含溶解或分散在溶剂体系中的聚合物。在一个优选实施方案中，组合物的聚合物包含式(I)的重复单元，其中，X是光衰减部分，M是金属，R各自独立地选自氢、烷基、芳基、烷氧基和苯氧基。制得的组合物是适于自旋辊筒的(即，在微版印刷法的烘烤阶段之前或在室温的储存期间不发生交联)，可显影的，并具有优良的光学性能。

主权项

1.一种用于光刻法的组合物，其包含：溶剂体系；分散或溶解在所述溶剂体系的聚合物，所述聚合物包含具有下式的重复单元：其中，X是光衰减部分，M是金属，R各自独立地选自氢、烷基、芳基、烷氧基和苯氧基。