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发明名称 SUSCEPTOR SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1570108(A1) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 EP20020808223 申请日期 2002.12.10
申请人 E.T.C. EPITAXIAL TECHNOLOGY CENTER SRL 发明人 MACCALLI, GIACOMO, NICOLAO;VALENTE, GIANLUCA;KORDINA, OLLE;PRETI, FRANCO;CRIPPA, DANILO
分类号 C23C16/458;C23C16/46;C30B25/10;C30B25/12;C30B31/14;F27B14/06;H01L21/00;H01L21/687;H05B6/02;(IPC1-7):C23C16/46;C30B31/12 主分类号 C23C16/458
代理机构 代理人
主权项
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