| 发明名称 |
Detection apparatus, detection method and electron beam irradiation apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1359602(A3) |
申请公布日期 |
2005.09.07 |
| 申请号 |
EP20030290943 |
申请日期 |
2003.04.16 |
| 申请人 |
SONY CORPORATION |
发明人 |
MIURA, YOSHIHISA;AKI, YUICHI |
| 分类号 |
G21K5/04;G03F7/20;G03F7/207;G11B7/09;G11B7/26;G11B9/10;H01J37/18;H01J37/301;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/301 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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