发明名称 Method of producing a trench capacitor with insulation collar
摘要
申请公布号 EP0987754(A3) 申请公布日期 2005.09.07
申请号 EP19990117722 申请日期 1999.09.08
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 SCHREMS, MARTIN, DR.;ARNOLD, NORBERT
分类号 H01L21/316;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/824 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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