有机电激发光元件的制造方法、薄膜移除设备及其擦拭装置

摘要

一种薄膜移除设备，其系适于移除一基板上之一薄膜，而薄膜移除设备例如包括一底座、一擦拭装置传动机构、一擦拭装置与一定位平台。其中，擦拭装置传动机构系配设于底座上。此外，擦拭装置系配设于擦拭装置传动机构上。另外，定位平台系配设于底座上，以承载基板，其中擦拭装置传动机构系带动擦拭装置，以将基板上之薄膜移除。基于上述，薄膜移除设备使用擦拭方式去除薄膜，以降低生产成本。