整合积体电路厂区中仓储隔间内外的物料输送系统之方法

摘要

本发明提供一种积体电路厂区中的物料输送整合系统。物料输送整合系统主要包括第一高度运行之第一物料输送次系统以及第二高度运行之第二物料输送次系统。其中第一、二物料输送次系统使用一共用物料输送埠。此外，以整合的轨道次系统提供给第一、二物料输送次系统使用，于单一高度的顶部下方，透过共用物料输送埠，以与预定的物料储存柜进行预定物料的交换步骤。