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发明名称
用以载置电子零件之薄膜承载胶带及半导体元件之检视装置及方法
摘要
本发明有关一种检视装置及方法,其可使检视者以正常坐姿之位置视觉检视用以载置电子零件之薄膜承载胶带,而无关于放大镜之放大倍率。此检视装置密实而可有效利用检视室内之空间。此检视装置包含彼此相邻之一进料卷轴3及一卷取卷轴7,以及包含一检视部10,其设置位置系使得相邻之进料卷轴与卷取卷轴系以相对于该检视部10为进料卷轴3及卷取卷轴7之顺序。来自该进料卷轴3之薄膜承载胶带T以实质上垂直于该检视部10之方向输送且沿着实质上垂直之方向以放大镜11检视。
申请公布号
TW200529348
申请公布日期
2005.09.01
申请号
TW094104810
申请日期
2005.02.18
申请人
三井金属矿业股份有限公司
发明人
山本昌彦;幸山佳弘;埜藤幸雄;小林清人
分类号
H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
周登龙
主权项
地址
日本
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