光碟用母盘之制造方法及光碟用母盘

摘要

本发明系藉由溅镀法于基板上使包含过渡金属之不完全氧化物的无机光阻剂层予以成膜。使用过渡金属之单体或合金或彼等之氧化物，作为靶材，并使用氧或氮作为反应性气体。藉由改变反应性气体之比率或成膜电力输出，无机光阻剂层于厚度方向上之氧浓度相异。将无机光阻剂层曝光显像后，制作出形成有讯坑或沟槽等微细凹凸图案之光碟用母盘。若提高氧浓度，感度将提高，因此可使感度于无机光阻剂层之厚度方向上相异，可于同一碟片上形成深度不同之凹凸形状。