正型光阻剥除溶液组合物

摘要

提供一种之剥除溶液，该剥除溶液不必进行紫外线照射之前处理而可以在室温剥除正型光阻、气泡可以迅速地在装置内破裂、并且对环境造成影响较小。一种前述剥除溶液组合物，系用以剥除以苯二叠氮化合物作为感光性物质之正型光阻剂，其特征为，含有：矽酸钠或是氢氧化钠中任1种；二伸乙甘醇(diethyleneglycol)或是三甘醇之单丁基或是单己基醚中1种或是2种以上；以及水。