用于半导体炉管机台之智慧型全自动控制流程

摘要

本发明提供自动控制流程的方法，以提高半导体材料处理效率及制程品质，依本发明的一实施态样，正要完成所有制程的批次晶圆要卸载时，同时有下一批次正在载入，这样的运作就是将不同制程循环重叠。本发明的一较佳实施例包含一种方法，其包含步骤如下：提供第一批次半导体材料并载入承载体，以进行运送并接着进行制程。在此第一批次材料进行制程时，提供第二批次材料，并暂停对第二批次进行制程，直到第一批次完成制程，以节省待机时间。