发明名称 半导体装置、封环结构及其制作方法
摘要 一种封环结构之制作方法。封环结构中之金属封环系为沿着一晶粒之周边所形成之连续结构,藉此金属封环包覆复数装置结构,并且金属封环系平行于晶粒之边缘,同时于晶粒之角落上之金属封环系呈倾斜状,如此于金属封环上便不会产生尖锐角落。于沿着金属封环之复数边缘具有一第一宽度,于金属封环之角落具有一第二宽度,其中,第一宽度大于第二宽度。
申请公布号 TW200529283 申请公布日期 2005.09.01
申请号 TW093117894 申请日期 2004.06.21
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 黄泰钧;纪冠守;姚志翔
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 洪澄文;颜锦顺
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号