电子装置之制造方法

摘要

本发明提供能够形成图案不会倒塌之微小图案之光阻剂组合物以及显影方法。图案形成方法系使聚合物溶解度参数之值为超临界二氧化碳溶解度参数值以下之聚合物作为主成分之光阻剂组合物涂布在基板上，实施所需之图案曝光处理，使用200个大气压以下之超临界二氧化碳进行显影者。